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　　　　制程設備零組件清洗與表面處理簡介半導體與光電產業制程設備使用一定次數后，需將機臺重要零組件作潔凈處理，避免附著力變差影響產品良率。另外零組件在重復使用多次后，表面狀況劣化影響制程效能與良率，為降低采購新品的成本支出，對精密洗潔與表面處理再生服務的需求因而增加。半導體、面板與太陽能產業業者于生產運作時，如Etching、CVD、Diffusion的制程組件(ProcessKit)上會附著Metal、Poly或Oxide等各種不同鍍層，經過一段時間后會有剝落(Peeling)現象，進而形成Particle而影響產品良率與質量，因此必須定期施行設備零組件清洗。而專業清洗與再生處理廠商則根據制程、機臺設備廠牌、零組件材質與鍍層進行分類并提供精密清洗與再生處理服務，以配合客戶提升產品良率及提高制造設備的稼動率(引述世禾官網與年報資料)。精密洗凈表面再生處理精密洗凈：去除附著在設備、零件與夾具的金屬與氧化物。依客戶需求將制程設備零組件上所附著的鍍層以化學(酸洗)或物理(噴砂)等方式去除，以還原零組件原有的表面特性。再生處理：解決機臺零組件于CVD與Etching等制程中，零件受到腐蝕或particle附著的問題。零組件于洗凈后會以熔射或噴砂等加工方式增加處理工件表面粗度，以延長使用壽命。制程設備零組件精密清洗與表面處理業務簡介基本上而言，設備機臺稼動率越高，相關零組件精密清洗與再生處理的需求也隨之增加。而2004年以來臺灣面板產業大量裝機，相關設備零組件的精密清洗與表面處理需求陸續開出，并吸引多家廠商加入爭奪相關業務。此外，太陽光電產業使用PVD機臺進行薄膜制程，相關洗凈需求亦將逐步增加，特別是薄膜太陽光電模塊產業。因為半導體與光電產業的制程設備種類繁多，精密洗凈與表面再生服務廠商必須對眾多設備供貨商、針對多種材質(鋁、不銹鋼、陶瓷)與不同尺寸且形狀各異的零組件，提供精密洗凈與表面處理服務，也因此爭取大客戶訂單有賴于建立經濟規模與經營客戶關系。產業概況與主要廠商臺灣從事設備精密清洗業務的廠商約10家，世禾(半導體為主)與榮眾(光電產業為主)為前兩大領導廠商，其它廠商概述請參考下表。世禾以PVD(物理氣相沉積)機臺相關業務為主，相關精密洗凈與再生處理的市占率分別達到70%與60%。近來擴廠動作趨于積極(增設臺南科工廠)，并跨入蝕刻與CVD相關精密洗凈與再生處理業務，此外并積極配合臺灣半導體與面板業者西進政策，開始經營大陸與東南亞相關業務。唯大陸與馬來西亞的客戶目前規模較小，爭取統包業務，加上跨足零組件買賣與開發原廠零組件替代品市場以增加收益為廠商普遍的經營策略。零組件精密洗凈主要廠商比較一般而言，制程設備零組件精密清洗與表面處理的客戶均采維持數家供貨商以確保議價能力。至于同業削價競爭，導致ASP下滑則是沖擊業者營運與獲利的主因。如世禾與榮眾的毛利率雙雙下滑，兩者2007年合計營收減少2%。而公開發行后高毛利率數字導致客戶砍價效應亦為原因。至于馬來西亞商前研科技于H207入主榮眾(持股比例約42%，長榮退出經營)，其后續營運重點與競爭策略值得觀察。2003~2007世禾榮眾的營收與毛利率變化

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